千級(jí)無(wú)塵室(Class 100 Cleanroom)是一種高潔凈度的環(huán)境,主要用于需要極高潔凈度的制造和研究領(lǐng)域,如半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)藥、精密儀器制造等。千級(jí)無(wú)塵室的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是每立方米空氣中不超過(guò)100個(gè)0.5微米及以上的顆粒。
以下是千級(jí)無(wú)塵室的一些關(guān)鍵特點(diǎn)和要求:
空氣過(guò)濾系統(tǒng):使用高效過(guò)濾器(HEPA)或超高效過(guò)濾器(ULPA)來(lái)過(guò)濾空氣,確保進(jìn)入無(wú)塵室的空氣潔凈。
氣流設(shè)計(jì):通常采用層流(Laminar Flow)設(shè)計(jì),使空氣以單向流動(dòng),減少空氣中的顆粒物。
壓力控制:保持無(wú)塵室內(nèi)的正壓,以防止外部污染物進(jìn)入。
溫濕度控制:嚴(yán)格控制溫度和濕度,以滿足特定工藝的要求。
人員和物品管理:進(jìn)入無(wú)塵室的人員需要穿戴專用的無(wú)塵服、手套、口罩等,物品也需要經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的清潔和消毒程序。
定期監(jiān)測(cè)和維護(hù):定期進(jìn)行潔凈度監(jiān)測(cè)和設(shè)備維護(hù),確保無(wú)塵室的潔凈度符合標(biāo)準(zhǔn)。
千級(jí)無(wú)塵室的建設(shè)和維護(hù)成本較高,但對(duì)于需要高潔凈度環(huán)境的行業(yè)來(lái)說(shuō),這是必不可少的投資。