?凈化工程的主要任務(wù)是控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,以確保產(chǎn)品在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造?。具體來說,凈化工程包括空氣凈化工程和潔凈工程兩個方面:?12
?空氣凈化工程?:在特定空間范圍內(nèi),通過排除空氣中的微粒子、有害氣體、細菌等污染物,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與分布、噪音振動及照明等控制在某一需求范圍內(nèi),以確保生產(chǎn)環(huán)境的潔凈和安全。
?潔凈工程?:主要涉及潔凈室的設(shè)計與建設(shè),通過控制空氣中的微塵粒子數(shù)量,確保生產(chǎn)環(huán)境的無塵凈化。潔凈室的無塵標準根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定,例如在芯片生產(chǎn)中,微塵數(shù)量需嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)。
此外,凈化工程在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)中有重要應(yīng)用。例如,在光刻曝光工藝中,為了防止熱膨脹系數(shù)差異導(dǎo)致的誤差,生產(chǎn)環(huán)境的溫度和濕度需嚴格控制。溫度應(yīng)保持在±0.1度以內(nèi),濕度一般保持在35%至45%之間,以防止灰塵吸附和靜電問題。